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环氧乙烷灭菌器的监测工艺，主要以化学监测为主，主要是通过肉眼观察放入的化学指示剂发生的化学(颜色)变化，来测试灭菌过程的参数。化学监测具有快速、简单和费用低的特点，可用于发现可能出现的灭留失败，如不正确的包装或装载、灭菌器功能失效等。化学监测主要用于每个包裹的包外，以区分已灭菌和未灭菌的物品，常用化学指示胶带、包装带上变色条和标签等(检测所用的化学指示剂须经卫生部门批准，并发给卫生许可证，并在其有效期内使用)。此外，还有单一参数化学指示剂和多参数指示剂等其他化学侧试手段。
化学指示胶带一面涂有胶黏剂，另一面涂有化学指示剂。即可作为区分“已灭菌”和“未灭菌”的指示使用，又可作为包裹封条粘贴在敷料包外表。灭菌结束后，通过指示剂颜色的均匀变色，可指示是否经过了灭菌处理，从而进一步证明灭菌成功的可能性。
环氧乙烷灭菌器属于灭菌器的一种，大家可能都听说过，可是对于它的灭菌步骤原理还不是很清楚，环氧乙烷灭菌器在灭菌阶段包括穿刺进药、灭菌、排气几个过程。
环氧乙烷灭菌器在进行穿刺进药时，需要知道一些细节，在加湿成功后，真空发生器工作，抽空到真空下限，穿刺针顶出，穿刺气罐。穿刺结束后，压力变送器监视压力变化，判断压力是否符合要求，表明环氧乙烷气体的浓度。在整个灭菌阶段，灭菌室内始终保持负压状态，避免有环氧乙烷气体泄漏，灭菌时间由程序设定。
在灭环氧乙烷灭菌器菌结束之后，需要进行脉动抽空排除内室的环氧乙烷气体。具体过程是首先抽空到18kPa，然后进空气回升到55kPa，如此运行30分钟。在排气阶段，能排去灭菌室内大部分环氧乙烷气体，但灭菌物品内仍含有环氧乙烷残留，需作进一步处理。
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